TAIKO螺桿式真空泵,是采用自主研發(fā)螺桿線性的干式真空泵，它低速轉(zhuǎn)動(dòng)連續(xù)排氣，真空度可達(dá)到１０-1Pa。實(shí)現(xiàn)了極限真空度的全球*低泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮,螺桿式真空泵的特點(diǎn)是可以高效地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒。螺桿式真空泵結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。

檢查 、保 養(yǎng)
8.1 檢查、保養(yǎng)的一般項(xiàng)目
(1) 為了能夠盡早發(fā)現(xiàn)異常，防止事故的發(fā)生，并在發(fā)生問題時(shí)，用作判斷的依據(jù)，請充分實(shí)施好每**的檢查。實(shí)施項(xiàng)目請參照檢查、保養(yǎng)一覽表。
(2) 拆解保養(yǎng)需要每年實(shí)施一次，或每運(yùn)行8000小時(shí)后實(shí)施一次，此時(shí)，請送至我公司或指定的業(yè)者來實(shí)施，返送前，請事先與您購買時(shí)的店鋪或我公司的營業(yè)所取得聯(lián)系。
(3) 關(guān)于特殊規(guī)格的產(chǎn)品，其檢查、保養(yǎng)時(shí)期及方**有所不同，請事先聯(lián)系咨詢我們。
(4) 其他詳細(xì)內(nèi)容請參照8.3、8.4項(xiàng)。
8.2 潤滑油脂的更換方法
(1) 油脂
a. 請根據(jù)交貨規(guī)格書來對油種（品牌）、給油口、排油口進(jìn)行確認(rèn)。
b. 每3～6個(gè)月應(yīng)停止泵，卸下給油口的塞子及油排放塞，使之完全排放干凈。
c. 緊閉好油排放塞子，自給油口給油至油量尺的紅色線之間，然后擰緊給油口的塞子。
(2) 含氟潤滑油
每年一次進(jìn)行拆解保養(yǎng)時(shí)，會(huì)更換掉軸承，因此僅更換含氟潤滑油這樣的步驟是無需進(jìn)行的。

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